真空氣體流量計(jì)可測(cè)量溫度、壓力、流量信號(hào)，經(jīng)補(bǔ)償后輸出標(biāo)況體積流量或質(zhì)量流量，產(chǎn)品有管道式和插入式兩種結(jié)構(gòu)型式，可現(xiàn)場(chǎng)顯示也可遠(yuǎn)距離傳輸，每種型式都有高溫、高壓、防腐等規(guī)格，又有整體的分體結(jié)構(gòu)，以適應(yīng)不同的測(cè)量介質(zhì)和安裝環(huán)境。
該流量計(jì)由供氣與抽氣系統(tǒng)、定容室與壓力測(cè)量系統(tǒng)、流量測(cè)量系統(tǒng)和烘烤系統(tǒng)等四部分組成，采用固定流導(dǎo)法及定容法兩種模式提供和測(cè)量流量。在流量計(jì)的設(shè)計(jì)中，解決了小孔流導(dǎo)的設(shè)計(jì)和計(jì)算、定容室和抽氣系統(tǒng)的小型化設(shè)計(jì)、應(yīng)用選擇性抽氣技術(shù)延伸流量測(cè)量下限等關(guān)鍵技術(shù)，同時(shí)還采用了分體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使流量計(jì)具有便于拆卸及攜帶，操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。
真空氣體流量計(jì)的主要設(shè)計(jì)思想有以下5點(diǎn)：
①采用了雙小孔、雙路流量輸出設(shè)計(jì)，有固定流導(dǎo)法和定容法兩種測(cè)量模式；
②采用了NEG泵選擇性抽氣技術(shù)，延伸了流量測(cè)量下限；
③對(duì)定容室及抽氣系統(tǒng)進(jìn)行了小型化設(shè)計(jì)，體積小、質(zhì)量輕；
④采用分體式結(jié)構(gòu)，流量計(jì)可以拆分，便利于攜帶。
⑤適合準(zhǔn)確測(cè)量天然氣、壓縮空氣和其他工業(yè)氣體的質(zhì)量流量，直接測(cè)量質(zhì)量流量，且不需要外部壓力和溫度補(bǔ)償。
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